GB/T 41153-2021
二次イオン質量分析法による炭化ケイ素単結晶中のホウ素、アルミニウム、窒素の不純物含有量の測定 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 41153-2021
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2021
- 出版団体
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 最新版
- GB/T 41153-2021
- 範囲
- この文書は、炭化ケイ素単結晶中のホウ素、アルミニウム、窒素の不純物含有量の二次イオン質量分析試験方法を規定しています。 この文書は、炭化ケイ素単結晶中のホウ素、アルミニウム、窒素の不純物含有量の定量分析に適用できます。 1015cm-3、元素濃度（原子百分率）は1%以下です。 注１：炭化珪素単結晶中の測定対象元素の含有量は、１立方センチメートル当たりの原子数により算出される。 注２：炭化珪素単結晶中のバナジウム不純物含有量の測定は本書を参照でき、測定範囲はバナジウム含有量が１×１０１３ｃｍ−３以上である。
GB/T 41153-2021 規範的参照
- GB/T 14264 半導体材料用語
- GB/T 22461 表面化学分析 用語集
- GB/T 32267 分析機器の性能測定用語
GB/T 41153-2021 発売履歴
- 2021 GB/T 41153-2021 二次イオン質量分析法による炭化ケイ素単結晶中のホウ素、アルミニウム、窒素の不純物含有量の測定
