GB/T 43493.2-2023
半導体デバイスのパワーデバイス用炭化珪素ホモエピタキシャルウェーハの非破壊検査と欠陥の識別基準 第２部：光学的欠陥検出法 (英語版)

規格番号

GB/T 43493.2-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 43493.2-2023

GB/T 43493.2-2023 発売履歴

• 2023 GB/T 43493.2-2023 半導体デバイスのパワーデバイス用炭化珪素ホモエピタキシャルウェーハの非破壊検査と欠陥の識別基準 第２部：光学的欠陥検出法

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