ISO 21360-3:2019
真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 パート 3: メカニカルブースター真空ポンプの特殊パラメータ

規格番号

ISO 21360-3:2019

制定年

2019

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 21360-3:2019

範囲

この文書は、メカニカルブースター真空ポンプの最大許容圧力差、有効圧縮比、ゼロスループットでの圧縮比、およびオーバーフローバルブ圧力差を測定するための方法と特別な要件を指定します。 これは、ガス冷却メカニカルブースター真空ポンプや複数のメカニカルブースター真空ポンプシステムなど、中真空または低真空用途に使用されるメカニカルブースター真空ポンプに適用されます。 通常の容積式真空ポンプとは異なるメカニカルブースターの特有の特性について説明します。 最大許容圧力差 Δpmax、有効圧縮比 Keff、ゼロスループットでの圧縮比 K0、およびオーバーフローバルブ圧力差 Δp1 は、メカニカルブースター真空ポンプの性能の特殊な特性です。

ISO 21360-3:2019 規範的参照

• ISO 21360-1:2012 真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 1 部: 概要
• ISO 3529-1 真空技術 - 用語集 - 第 1 部: 一般用語*， 2019-07-16 更新するには
• ISO 3529-2 真空技術 - 用語解説 - 第 2 部: 真空ポンプと関連用語*， 2020-02-25 更新するには
• ISO 3567 真空計 基準ゲージとの直接比較により校正

ISO 21360-3:2019 発売履歴

• 2019 ISO 21360-3:2019 真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 パート 3: メカニカルブースター真空ポンプの特殊パラメータ