YS/T 25-1992
シリコン研磨ウェーハ表面洗浄方法 (英語版)

規格番号

YS/T 25-1992

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1992

出版団体

中国有色金属工业总公司

最新版

YS/T 25-1992

YS/T 25-1992 発売履歴

• 1992 YS/T 25-1992 シリコン研磨ウェーハ表面洗浄方法