T/CNIA 0143-2022
半導体材料の微量不純物分析用超高純度樹脂容器 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0143-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0143-2022

範囲

この文書は、微量不純物（ng/kg ～ μg/kg レベル）を分析するための超高純度樹脂製容器（以下、容器）の技術的要件、試験方法、検査規則、マーキング、包装、輸送、保管および添付書類を規定したものです。 ）半導体材料の注文書の内容となります。

T/CNIA 0143-2022 発売履歴

• 2022 T/CNIA 0143-2022 半導体材料の微量不純物分析用超高純度樹脂容器