ISO 23420:2021
マイクロビーム分析、分析電子顕微鏡、電子エネルギー損失分光分析のエネルギー分解能の決定方法

規格番号

ISO 23420:2021

制定年

2021

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 23420:2021

範囲

この文書は、走査透過電子顕微鏡または電子エネルギー損失 (EEL) 分光器を備えた透過電子顕微鏡におけるエネルギー分解能の決定手順を規定します。 この文書は、インカラム型 EEL 分光器とポストカラム型 EEL 分光器の両方に適用されます。 これらのＥＥＬ信号検出方式は、並列検出方式および直列検出方式に適用可能である。

ISO 23420:2021 発売履歴

• 2021 ISO 23420:2021 マイクロビーム分析、分析電子顕微鏡、電子エネルギー損失分光分析のエネルギー分解能の決定方法