AS ISO 14644.2:2017
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 2: 粒子濃度によるモニタリングによる、空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠の提供

規格番号

AS ISO 14644.2:2017

制定年

2017

出版団体

Standard Association of Australia （SAA）

最新版

AS ISO 14644.2:2017

範囲

ISO 14644-2:2015 を採用し、浮遊粒子濃度を測定または影響を与えるパラメーターに基づいて、粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルームまたはクリーン ゾーンのパフォーマンスのモニタリング計画の最小要件を指定します。

AS ISO 14644.2:2017 発売履歴

• 2017 AS ISO 14644.2:2017 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 2: 粒子濃度によるモニタリングによる、空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠の提供