T/CASMES 125-2022
ウェーハの薄化とダイシングの技術仕様 (英語版)

規格番号

T/CASMES 125-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CASMES 125-2022

範囲

この文書は、ウェーハの薄化およびダイシング技術の基本要件、プロセス、品質要件、メンテナンスおよび安全性を規定します。 この文書は、ウェーハの薄化とダイシングのガイドに適しており、製造会社がウェーハの製造プロセスに薄化とダイシングの技術を適用する際の参考資料としても使用できます。

T/CASMES 125-2022 発売履歴

• 2022 T/CASMES 125-2022 ウェーハの薄化とダイシングの技術仕様