T/QGCML 396-2022
ワイヤーカット後の洗浄機 (英語版)

規格番号

T/QGCML 396-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/QGCML 396-2022

範囲

この文書には、ワイヤーカット洗浄機の用語と定義、材料要件、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、使用説明書、梱包、輸送および保管方法が規定されています。 この文書は、シリコンウェーハワイヤーカット洗浄機（以下、洗浄機）の製造および検査に適用されます。

T/QGCML 396-2022 発売履歴

• 2022 T/QGCML 396-2022 ワイヤーカット後の洗浄機