YS/T 1164-2016
誘導結合プラズマ発光分析法によるシリコン材料用高純度石英製品の不純物含有量の測定 (英語版)

規格番号

YS/T 1164-2016

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2016

出版団体

工业和信息化部

最新版

YS/T 1164-2016

YS/T 1164-2016 発売履歴

• 2016 YS/T 1164-2016 誘導結合プラズマ発光分析法によるシリコン材料用高純度石英製品の不純物含有量の測定