ISO 16129:2018
表面化学分析 - X 線光電子分光法 - X 線光電子分光計の日常的な性能を評価する方法

規格番号

ISO 16129:2018

制定年

2018

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 16129:2018

範囲

この文書は、ユーザーが X 線光電子分光計のいくつかの重要なパラメーターを定期的に評価できるように設計されています。 これは、徹底的なパフォーマンス チェックを提供することを目的としたものではなく、頻繁に実行できる迅速なテストのセットを提供します。 この文書でカバーされる機器の動作の側面には、真空、導電性または非導電性の試験片のスペクトルの測定、および X 線源の現在の状態が含まれます。 機器の性能の他の重要な側面 (横方向の解像度など) は、この文書の範囲外です。 この文書は、単色化 Al Kα X 線源、または単色化されていない Al または Mg Kα X 線源を備えた市販の X 線光電子分光計での使用を目的としています。

ISO 16129:2018 発売履歴

• 2018 ISO 16129:2018 表面化学分析 - X 線光電子分光法 - X 線光電子分光計の日常的な性能を評価する方法
• 2012 ISO 16129:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順