T/QGCML 1126-2023
連続二試料室プラズマ洗浄装置 (英語版)

規格番号

T/QGCML 1126-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/QGCML 1126-2023

範囲

この文書は、連続デュアルサンプルチャンバープラズマ洗浄装置の用語と定義、構成、技術的要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管を規定します。 この文書は、連続デュアル サンプル チャンバー プラズマ洗浄装置の設計、製造、および検査に適用されます。

T/QGCML 1126-2023 発売履歴

• 2023 T/QGCML 1126-2023 連続二試料室プラズマ洗浄装置