T/FSLA 007-2021
222nm遠紫外クリプトン塩素エキシマランプ (英語版)

規格番号

T/FSLA 007-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

状態

入れ替わる 2023-02

に置き換えられる

T/FSLA 007-2023

最新版

T/FSLA 007-2023

範囲

この文書規格は、紫外線の主波長が 222 nm、公称出力が 1000 W 未満のクリプトン - 塩素エキシマ ランプの分類、要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管を指定します。

T/FSLA 007-2021 発売履歴

• 2023 T/FSLA 007-2023 222nm遠紫外クリプトン塩素エキシマランプ
• 2021 T/FSLA 007-2021 222nm遠紫外クリプトン塩素エキシマランプ