EN 62047-25:2016
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第25回 シリコンベースMEMS製造技術 マイクロボンディング部の引張・圧縮・せん断強度の測定方法

規格番号

EN 62047-25:2016

制定年

2016

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62047-25:2016

範囲

IEC 62047-25:2016 は、シリコンベースの微小電気機械システム (MEMS) で使用される微細加工技術によって製造された微小接合領域の接合強度を測定するためのその場試験方法を規定しています。 この文書は、マイクロエレクトロニクス技術プロセスやその他のマイクロマシニング技術によって作製された微細接合領域のその場プルプレスおよびせん断強度測定に適用できます。

EN 62047-25:2016 発売履歴

• 2016 EN 62047-25:2016 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第25回 シリコンベースMEMS製造技術 マイクロボンディング部の引張・圧縮・せん断強度の測定方法