YS/T 1060-2015
ガスクロマトグラフィーによるシリコンエピタキシー用トリクロロシラン中のその他のクロロシランの定量 (英語版)

規格番号

YS/T 1060-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

工业和信息化部

最新版

YS/T 1060-2015

YS/T 1060-2015 発売履歴

• 2015 YS/T 1060-2015 ガスクロマトグラフィーによるシリコンエピタキシー用トリクロロシラン中のその他のクロロシランの定量