T/QDAS 094-2022
ダイオード GPP トレンチ洗浄用の混合酸配合 (英語版)

規格番号

T/QDAS 094-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/QDAS 094-2022

範囲

この文書は、ダイオード GPP トレンチ洗浄の組成、純度要件、濃度要件、調製比率、混合酸の調製および使用要件を指定します。 この文書は、ダイオード (整流ダイオード、ファストリカバリパワーダイオード、サイリスタ、過渡ダイオード、半導体放電管などを含む) のウェットエッチングプロセスを使用して GPP トレンチを洗浄するための混合酸の調製に適用されます。

T/QDAS 094-2022 発売履歴

• 2022 T/QDAS 094-2022 ダイオード GPP トレンチ洗浄用の混合酸配合