KS L ISO 21859-2023
ファインセラミックス（アドバンストセラミックス、アドバンストクラフトセラミックス）半導体製造装置におけるセラミック部品の耐プラズマ性試験方法

規格番号

KS L ISO 21859-2023

制定年

2023

出版団体

KR-KS

最新版

KS L ISO 21859-2023

KS L ISO 21859-2023 発売履歴

• 2023 KS L ISO 21859-2023 ファインセラミックス（アドバンストセラミックス、アドバンストクラフトセラミックス）半導体製造装置におけるセラミック部品の耐プラズマ性試験方法