DIN IEC 62047-11 E:2010
文書草案 - 半導体デバイス - マイクロ電気機械デバイス - パート 11: MEMS 材料の線熱膨張係数の試験方法 (IEC 47F/49/CD:2010)

規格番号

DIN IEC 62047-11 E:2010

制定年

2010

出版団体

SCC

最新版

DIN IEC 62047-11 E:2010

DIN IEC 62047-11 E:2010 発売履歴

• 2010 DIN IEC 62047-11 E:2010 文書草案 - 半導体デバイス - マイクロ電気機械デバイス - パート 11: MEMS 材料の線熱膨張係数の試験方法 (IEC 47F/49/CD:2010)