T/GVS 005-2022
半導体装置用絶対電圧容量薄膜真空計の比較方法の試験仕様書 (英語版)

規格番号

T/GVS 005-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/GVS 005-2022

範囲

用語と定義、記号と略語、一般原則、テスト条件要件、精度テスト、再現性精度テスト、ゼロ点、フルスケール温度係数テスト、データ処理、再テスト時間を指定します。 測定範囲0.01Pa～100kPaの半導体装置用絶対電圧容量式フィルム真空計の比較試験に適しています。

T/GVS 005-2022 発売履歴

• 2022 T/GVS 005-2022 半導体装置用絶対電圧容量薄膜真空計の比較方法の試験仕様書