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- ASTM F123-91
- 規格番号
- ASTM F123-91
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F123-91
- 範囲
- 1.I この審判試験法 2 は、単結晶シリコン中の置換炭素濃度の測定を対象としています。
炭素は格子間格子位置にも存在する可能性があるため、この試験方法は総炭素濃度の尺度ではありません。
1.2 この試験方法は、多結晶シリコン中の置換炭素を測定するために使用できます。
この場合、結晶子境界領域の炭素は、格子間サイトの炭素と同様に検出されません。
1.3 この試験方法で測定できる炭素濃度の有効範囲は、シリコンに可溶な置換炭素の最大量から、室温で 200 ppba 原子 (ppba) (IX 10l6~m~) および 100 ppba (5 x IOi5) までです。
1.4 この試験方法は、炭素濃度と、シリコン内の置換炭素に関連する 16.47pm (波数 607.2) の赤外線吸収バンドでの吸収係数との関係を利用します。
1.S この試験方法は、電荷キャリア濃度が 5 X 1016-m- 未満のシリコンのスライスに適用できます。
スライスはどのような結晶方位であってもよく、両面を研磨する必要があります。
1.6 この試験方法は、午後 10 時から午後 20 時までの領域 (波数 1000 ～ 500) で動作するように装備された赤外分光光度計で使用することを目的としています。
1.7 この規格には、危険な物質、作業、および機器が含まれる場合があります。
この規格は、その使用に関連するすべての危険な問題に対処することを目的とするものではありません。
適切な安全性と健康慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。
1.8 許容可能なメートル単位で記載された値は標準とみなされます。
括弧内に示された値は情報提供のみを目的として提供されています。
「このフェスト方法は電子機器に関する ASTM 委員会 FI の管轄下にあり、電気および光学測定に関する小委員会 F01.06 の直接の責任です。
」最新版は 1991 年 5 月 31 日に承認されました。
1991 年 7 月に発行されました。
当初は F 123-70T として発行されました。
前回の前版 F 123-86。
2DIN 50438/2 は同等のメソッドです。
これは DIN 委員会 NMP 221 の責任であり、委員会 F-1 は緊密な技術連携を維持しています。
DIN 50438/2、無機半導体材料の試験:赤外線吸収によるシリコンの不純物含有量の測定。
カーボンは、Beuth Verlag GmbH から入手可能です。
Burggrafenstrasse4-10、D-1000 ベルリン 30、ドイツ連邦共和国、DIN 50438/2
ASTM F123-91 規範的参照
- ASTM E131 分子分光法に関連する用語と記号の標準定義*， 1981-04-09 更新するには
- ASTM E177 屋外騒音測定を実施するための測定計画策定のための標準ガイド*， 1990-04-09 更新するには
- ASTM E275 紫外、可視、近赤外分光光度計の性能を説明および測定するための標準操作手順*， 1993-04-09 更新するには
ASTM F123-91 発売履歴
