GB/T 41751-2022
窒化ガリウム単結晶基板の結晶面の曲率半径の試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 41751-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 41751-2022

範囲

この文書は、高分解能X線回折装置を使用して窒化ガリウム単結晶基板の結晶面の曲率半径を検査する方法を規定しています。 この資料は、化学気相成長法などにより作製された窒化ガリウム単結晶基板の結晶表面の曲率半径の試験に適用できます。 このドキュメント。

GB/T 41751-2022 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語

GB/T 41751-2022 発売履歴

• 2022 GB/T 41751-2022 窒化ガリウム単結晶基板の結晶面の曲率半径の試験方法