SEMI M3.5-1992
100mmサファイア基板の標準

規格番号

SEMI M3.5-1992

制定年

1992

出版団体

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

最新版

SEMI M3.5-1992

SEMI M3.5-1992 発売履歴

• 1992 SEMI M3.5-1992 100mmサファイア基板の標準