SEMI M3.2-1991
2インチサファイア基板標準

規格番号

SEMI M3.2-1991

制定年

1991

出版団体

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

最新版

SEMI M3.2-1991

SEMI M3.2-1991 発売履歴

• 1991 SEMI M3.2-1991 2インチサファイア基板標準