BS ISO 24688:2022
小角X線法によるナノメートル多層膜の変調周期の決定

規格番号

BS ISO 24688:2022

制定年

2022

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 24688:2022

範囲

適用範囲 この文書は、基板の条件と変調周期のテスト（低角 X 線法の原理、コーティングの要件、X 線測定装置の要件、装置とサンプルの校正、およびX 線反射率 (XRR) やグレージング入射 X 線回折 (GIXRD) を含む低角 X 線法によるナノ多層コーティングの試験条件と計算プロセス)。

BS ISO 24688:2022 発売履歴

• 2022 BS ISO 24688:2022 小角X線法によるナノメートル多層膜の変調周期の決定