ASHRAE 4513-2002
半導体工場のプロセス排気システムへの3Cエアダクト設計法の適用

規格番号

ASHRAE 4513-2002

制定年

2002

出版団体

ASHRAE - American Society of Heating@ Refrigerating and Air-Conditioning Engineers@ Inc.

最新版

ASHRAE 4513-2002

ASHRAE 4513-2002 発売履歴

• 2002 ASHRAE 4513-2002 半導体工場のプロセス排気システムへの3Cエアダクト設計法の適用