T/ICMTIA TG0011-2022
集積回路用高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金スパッタリングターゲット (英語版)

規格番号

T/ICMTIA TG0011-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ICMTIA TG0011-2022

範囲

この文書は、集積回路用の高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金スパッタリングターゲットの技術要件、検出方法、梱包および輸送、および安全要件を規定しています。 この文書は、集積回路製造用の高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金ターゲットに適用されます。

T/ICMTIA TG0011-2022 発売履歴

• 2022 T/ICMTIA TG0011-2022 集積回路用高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金スパッタリングターゲット