NF C96-050-25*NF EN 62047-25:2016
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第25回 シリコンベースMEMS製造技術 マイクロボンディング部の引張・圧縮・せん断強度の測定方法

規格番号

NF C96-050-25*NF EN 62047-25:2016

制定年

2016

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF C96-050-25*NF EN 62047-25:2016

NF C96-050-25*NF EN 62047-25:2016 発売履歴

• 2016 NF C96-050-25*NF EN 62047-25:2016 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第25回 シリコンベースMEMS製造技術 マイクロボンディング部の引張・圧縮・せん断強度の測定方法