T/ZGM 014-2023
半導体産業における超純水調製用の脱気膜コンポーネントの製品認証に関する技術要件 (英語版)

規格番号

T/ZGM 014-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ZGM 014-2023

範囲

この規格は、半導体産業における超純水調製用の脱気膜コンポーネントの認証のための技術要件と試験方法を指定します。 この規格は、半導体産業における超純水調製用の脱気膜コンポーネントに適用されます。 脱気膜製品のサイズ、性能、材質、清浄度要件、試験方法を標準化します。

T/ZGM 014-2023 発売履歴

• 2023 T/ZGM 014-2023 半導体産業における超純水調製用の脱気膜コンポーネントの製品認証に関する技術要件
• 2022 T/ZGM 014-2022 中空糸膜バイオリアクターユニットの省エネ製品認証に必要な技術的要件