DIN 32567-3:2014-10
マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の決定その 3: 触覚測定装置の補正値の導出
- 規格番号
- DIN 32567-3:2014-10
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN 32567-3:2014-10
DIN 32567-3:2014-10 発売履歴
- 2014 DIN 32567-3:2014-10 マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の決定その 3: 触覚測定装置の補正値の導出
- 2014 DIN 32567-3:2014 マイクロシステム製造装置 光学的および触覚的寸法測定に対する材料の影響の決定 パート 3: 触覚測定装置の補正値の導出
- 1970 DIN 32567-3 E:2012-07 マイクロシステムの製造装置 - 光学および触覚寸法計測における材料の影響の決定 - 第 3 部: 触覚測定装置の補正値の導出
- 0000 DIN 32567-3:2012
