BS ISO 23216:2021
炭素系フィルムの分光エリプソメトリーを使用したアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定
- 規格番号
- BS ISO 23216:2021
- 制定年
- 2021
- 出版団体
- British Standards Institution (BSI)
- 最新版
- BS ISO 23216:2021
BS ISO 23216:2021 発売履歴
- 2021 BS ISO 23216:2021 炭素系フィルムの分光エリプソメトリーを使用したアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定
