T/CEMIA 024-2021
半導体単結晶シリコン成長用石英るつぼの製造仕様 (英語版)

規格番号

T/CEMIA 024-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CEMIA 024-2021

範囲

この文書は、半導体単結晶シリコン成長のための石英るつぼの実務者、生産設備、主原料および補助材料、生産プロセス、作業環境および製品の品質管理のための手順と全体的な原則を確立します。  この文書は、半導体単結晶シリコン成長用の石英るつぼの製造プロセスに適用されます。

T/CEMIA 024-2021 発売履歴

• 2021 T/CEMIA 024-2021 半導体単結晶シリコン成長用石英るつぼの製造仕様