GB/T 43313-2023
共焦点微分干渉法を使用した炭化ケイ素研磨ウェーハの表面品質とマイクロチューブ密度の検査 (英語版)

規格番号

GB/T 43313-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 43313-2023

GB/T 43313-2023 発売履歴

• 2023 GB/T 43313-2023 共焦点微分干渉法を使用した炭化ケイ素研磨ウェーハの表面品質とマイクロチューブ密度の検査