T/CASAS 026-2023
炭化珪素の少数キャリア寿命測定のためのマイクロ波光伝導減衰法 (英語版)

規格番号

T/CASAS 026-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CASAS 026-2023

範囲

この文書には、マイクロ波光伝導性を使用して炭化ケイ素の少数キャリア寿命を決定する方法が記載されています。 この文書は、少数キャリア寿命が 20ns ～ 200μs の炭化珪素ウェーハの寿命測定と品質評価に適用されます。

T/CASAS 026-2023 発売履歴

• 2023 T/CASAS 026-2023 炭化珪素の少数キャリア寿命測定のためのマイクロ波光伝導減衰法