T/CESA 1082-2020
ポリシリコン製造業界のグリーンファクトリー評価要件 (英語版)

規格番号

T/CESA 1082-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CESA 1082-2020

範囲

この規格は、ポリシリコン製造業界におけるグリーンファクトリー評価（以下、「評価」といいます）の原則、方法、指標体系と要件、手順、報告書形式を規定しています。 この基準は、トリクロロシラン法およびシラン法で多結晶シリコン製品を製造している工場の評価に適用され、他のプロセスで多結晶シリコン製品を製造している工場も参考にすることができます。

T/CESA 1082-2020 発売履歴

• 2020 T/CESA 1082-2020 ポリシリコン製造業界のグリーンファクトリー評価要件