KS I ISO 14644-12-2020
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 12: ナノスケールの粒子濃度を使用して空気の清浄度を監視するための仕様

規格番号

KS I ISO 14644-12-2020

制定年

2020

出版団体

KR-KS

最新版

KS I ISO 14644-12-2020

KS I ISO 14644-12-2020 発売履歴

• 2020 KS I ISO 14644-12-2020 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 12: ナノスケールの粒子濃度を使用して空気の清浄度を監視するための仕様