NF EN 62047-9:2012
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 9: 2 枚のウェーハの MEMS 接合抵抗測定

規格番号

NF EN 62047-9:2012

制定年

2012

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF EN 62047-9:2012

NF EN 62047-9:2012 発売履歴

• 2012 NF EN 62047-9:2012 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 9: 2 枚のウェーハの MEMS 接合抵抗測定