T/CCGA 30003-2019
超高純度三フッ化窒素 (英語版)
- 規格番号
- T/CCGA 30003-2019
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2019
- 出版団体
- Group Standards of the People's Republic of China
- 最新版
- T/CCGA 30003-2019
- 範囲
- この規格は、ボトル入りの超高純度三フッ化窒素の技術要件、試験方法、検査規則、包装、マーキング、輸送、保管および安全性を規定しています。 この規格は、粗製三フッ化窒素および蒸留精製によって生成される超高純度三フッ化窒素の電解合成に適用されます。 主にエレクトロニクス産業におけるプラズマプロセス用のエッチング液や化学蒸着用の洗浄剤として使用されます。
T/CCGA 30003-2019 発売履歴
- 2019 T/CCGA 30003-2019 超高純度三フッ化窒素
