T/CNIA 0116-2021
誘導結合プラズマ発光分析法による多結晶シリコン製造時の排ガス浄化用活性炭の不純物含有量の定量 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0116-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0116-2021

範囲

この文書は、ポリシリコン製造時の排ガス浄化に使用される活性炭中のホウ素、リン、アルミニウム、クロム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛を高周波誘導結合プラズマ原子発光分析法により定量する方法を規定しています。 この文書は、ポリシリコン製造時の排ガス浄化に使用される活性炭中のホウ素、リン、アルミニウム、クロム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛含有量の測定に適用されます。

T/CNIA 0116-2021 発売履歴

• 2021 T/CNIA 0116-2021 誘導結合プラズマ発光分析法による多結晶シリコン製造時の排ガス浄化用活性炭の不純物含有量の定量