EN 62047-21:2014
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第21回 薄膜MEMS材料のポアソン比試験方法

規格番号

EN 62047-21:2014

制定年

2014

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62047-21:2014

範囲

IEC 62047-21:2014 では、長さと幅が 10 mm 未満、厚さが 10 mm 未満の薄膜マイクロ電気機械システム (MEMS) 材料に一軸および二軸の荷重を加えて得られた試験結果からポアソン比を決定することが規定されています。 μm。

EN 62047-21:2014 発売履歴

• 2014 EN 62047-21:2014 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第21回 薄膜MEMS材料のポアソン比試験方法