KS I ISO 14644-2-2017(2022)
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: 粒子濃度によるクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するためのモニタリング

規格番号

KS I ISO 14644-2-2017(2022)

制定年

2017

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS I ISO 14644-2-2017(2022)

KS I ISO 14644-2-2017(2022) 発売履歴

• 2022 KS I ISO 14644-2-2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 — パート 2: 粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するためのモニタリング
• 2017 KS I ISO 14644-2:2017 クリーンルームおよび関連する管理された環境 - ISO 14644-1 への継続的な準拠を実証するためのテストおよびモニタリングの仕様
• 2007 KS I ISO 14644-2:2007 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: KS M ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様
• 0000 KS I ISO 14644-2:2002