NF EN 62276:2018
単結晶シリコンウェーハの仕様と表面弾性波 (OAS) デバイスを使用したアプリケーションの測定方法

規格番号

NF EN 62276:2018

制定年

2018

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF EN 62276:2018

NF EN 62276:2018 発売履歴

• 2018 NF EN 62276:2018 単結晶シリコンウェーハの仕様と表面弾性波 (OAS) デバイスを使用したアプリケーションの測定方法