GB/T 33236-2016
グロー放電質量分析法による多結晶シリコンの微量元素化学分析 (英語版)

規格番号

GB/T 33236-2016

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2016

出版団体

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 33236-2016

範囲

この規格は、グロー放電質量分析法 (GD-MS) によるポリシリコン中の不純物元素を測定するための試験方法を規定しています。 この規格は、ポリシリコン材料中の水素および不活性ガス元素を除くその他の不純物元素の測定に適用されます。 測定範囲は検出範囲からです。 この方法の限界は 0.1% (質量分率) であり、検出限界は使用する機器や測定条件によって決まりますが、標準サンプルを適切に校正すれば、質量分率 0.1% を超える不純物元素の含有量も測定できます。 単結晶シリコン材料中の微量不純物元素もこの規格を参照して測定できます。

GB/T 33236-2016 規範的参照

• GB/T 6682 分析実験室用水の仕様と試験方法
• ISO/TS 15338:2009 表面化学分析 グロー放電質量分析法 (GD-MS) 使い方の紹介

GB/T 33236-2016 発売履歴

• 2016 GB/T 33236-2016 グロー放電質量分析法による多結晶シリコンの微量元素化学分析