UNE-EN 62047-11:2013
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 11 部：微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法

規格番号

UNE-EN 62047-11:2013

制定年

2013

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN 62047-11:2013

UNE-EN 62047-11:2013 発売履歴

• 2013 UNE-EN 62047-11:2013 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 11 部：微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法