KS D ISO 16413:2021
線反射率計による膜厚、密度、界面幅の評価、機器要件、校正と位置決め、データ収集、データ分析、レポート作成

規格番号

KS D ISO 16413:2021

制定年

2021

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS D ISO 16413:2021

KS D ISO 16413:2021 発売履歴

• 2021 KS D ISO 16413:2021 線反射率計による膜厚、密度、界面幅の評価、機器要件、校正と位置決め、データ収集、データ分析、レポート作成