T/CNIA 0101-2021
グリーンデザイン製品評価技術仕様 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハ (英語版)

規格番号

T/CNIA 0101-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0101-2021

範囲

この文書は、4H および 6H 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハのグリーンデザイン製品評価の評価要件、ライフサイクル評価報告書の作成方法、評価方法およびプロセスを規定します。 この文書は、物理的蒸気輸送法によって製造された 4H および 6H 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハのグリーン デザイン製品の評価に適用できます。

T/CNIA 0101-2021 発売履歴

• 2021 T/CNIA 0101-2021 グリーンデザイン製品評価技術仕様 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハ