T/BEA 43002-2023
ラングミュア シングルプローブ プラズマ テスターの校正仕様 (英語版)

規格番号

T/BEA 43002-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/BEA 43002-2023

範囲

適用範囲 本仕様書は、電子密度範囲 1012m-3～1018m-3、電子温度範囲 1eV～10eV の低温プラズマラングミュア単探針プラズマテスター（以下、プラズマテスター）の校正に適用する。 。 2 参照文書 この仕様書は以下の文書を引用しています: GJB 7363-2011 宇宙プラズマ環境影響の動的試験方法 日付付きの参照文書については、日付のあるバージョンのみがこの仕様書に適用されます; 日付のない参照文書については、その他の最新バージョン (すべての変更を含む)この仕様の注文）が適用されます。 3 用語と定義 GJB7363-2011 で定義されている次の用語と定義がこの仕様に適用されます。 3.1 プラズマ プラズマは多数の荷電粒子 (正イオン、負電子) と中性粒子で構成され、物質の第 4 の状態とみなされることがよくあります。 巨視的スケール（デバイ長より大きい）では、正イオンと負電子の密度は等しく、準中性です。 3.2 プラズマ発生装置は、エネルギー変換によって物質の状態をプラズマ状態に変換する装置です。 3.3 プラズマの電子密度は、プラズマ内の単位体積内で自由に移動できる電子の数で、単位は m-3 です。 3.4 プラズマ電子温度 プラズマ 電子 温度 プラズマ内の電子が局所熱平衡に達したときの平均運動エネルギー (eV) (1eV の平均運動エネルギー変換温度は 11600K)。 4 概要 プラズマテスターは、主にプラズマの電子温度と電子密度の測定に使用される接触式プラズマ測定装置で、プローブ、走査電源、収集および調整システムで構成されています。 プローブのプローブには高温やスパッタリングに強い導電性材料であるタングステンが通常使用され、測定時にはプラズマ環境に置かれます。 プラズマテスターのスキャン電源は周期的なスキャン電圧を生成し、それをプローブに負荷します。 スキャン電圧が負から正（または正から負）に変化すると、プラズマ容器壁（接地）に対するプローブの電圧と、プローブとプラズマで構成されるループ電流が収集および調整システムを通じて測定されます。 すなわち、測定されたプラズマの電圧－電流特性曲線を得ることができる。 古典的なラングミュア プローブ理論によれば、プラズマの電子温度 (Te) と電子密度 (Ne) パラメーターは、ボルタンメトリー特性曲線を解くことによって計算できます。 5 計測特性 5.1 電子密度表示誤差 電子密度測定範囲：1012m-3～1018m-3、最大許容誤差：±（30%～60%）。 5.2 電子温度表示誤差 電子温度測定範囲: 1eV~10eV; 最大許容誤差: ± (30%~60%)。 5.3 スキャン電源出力電圧設定値誤差測定範囲： 　——150V～150V、最大許容誤差：±(5%設定値+0.05V)。 5.4 収集および調整システムの電圧表示誤差の測定範囲: 　——150V ～ 150V、最大許容誤差: ±(5% 表示値 +0.05V)。 5.5 収集および調整システムの電流表示誤差の測定範囲: 0.01mA ～ 300mA; 最大許容誤差: ± (5% 表示値 + 0.005mA)。 6 校正条件 6.1 環境条件 a) 周囲温度: 20℃±5℃; b) 相対湿度: ≤80%; c) 電源: (220±22)V、(50±1)Hz; d) その他: 周囲通常の校正に影響を与える電磁干渉や機械的振動はありません。 6.2 校正装置 校正装置は計量技術機関により検証または校正され、校正使用要件を満たし、有効期間内である必要があります。 a) プラズマ発生器標準装置（真空取得システム、真空測定システム、標準プラズマ発生器、標準ラングミュアプローブ試験システムを含む） 1) 放電ガス種類: Ar、Ne、Xe など; 2) 放電電圧範囲: 1×10 -4Pa〜10Pa; 3) プラズマ発生器の放電電力: (0〜1250) W; 4) 電子密度測定範囲: 1012m-3〜1018m-3; 5) 電子密度の最大許容誤差: ± 7.5%; 6) 電子温度測定範囲: 1eV~10eV; 7) 電子温度の最大許容誤差: ±7.5%。 b) デジタル オシロスコープ (10:1 プローブを含む) 1) 帯域幅: ≥1MHz; 2) AC 電圧振幅測定の最大許容誤差: ±2%; 3) 入力抵抗: 1MΩ。 c) DC デジタル電圧計 1) 測定範囲: 　——150V ～ 150V; 2) DC 電圧測定の最大許容誤差: ± (1% 読み取り値 + 0.01V)。 d) DC デジタル電流計 1) 測定範囲: 0.01mA ～ 300mA; 2) DC 電流測定の最大許容誤差: ± (1% 読み取り値 + 0.001mA)。 e) 直流抵抗ボックス 1) 直流抵抗範囲: 0.01Ω~100kΩ; 2) 最大許容誤差: ± (0.1% 設定値 + 0.005Ω)。

T/BEA 43002-2023 発売履歴

• 2023 T/BEA 43002-2023 ラングミュア シングルプローブ プラズマ テスターの校正仕様