IEC 63229:2021
半導体デバイス 炭化ケイ素基板上の窒化ガリウムエピタキシャル膜の欠陥の分類

規格番号

IEC 63229:2021

制定年

2021

出版団体

International Electrotechnical Commission (IEC)

最新版

IEC 63229:2021

IEC 63229:2021 発売履歴

• 2021 IEC 63229:2021 半導体デバイス 炭化ケイ素基板上の窒化ガリウムエピタキシャル膜の欠陥の分類