T/CAB 0156-2022
スマート家電向け金属酸化物MEMSガスセンサー (英語版)

規格番号

T/CAB 0156-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CAB 0156-2022

範囲

本書で説明するMEMSガスセンサは、マイクロ・ナノ構造の半導体ガス感応材料とヒータをMEMS技術を用いて一体化・製造し、シリコンチップ上にガス濃度検出機能を実装し、家電製品のインテリジェントなフィードバック制御を実現します。

T/CAB 0156-2022 発売履歴

• 2022 T/CAB 0156-2022 スマート家電向け金属酸化物MEMSガスセンサー