BS ISO 22415:2019
表面化学分析 二次イオン質量分析分析 アルゴンクラスタースパッタリングにおける収量の決定方法 有機材料の深さプロファイリング

規格番号

BS ISO 22415:2019

制定年

2019

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 22415:2019

範囲

ISO 22415 とは何ですか? ISO 22415 は、特定の有機材料のアルゴン クラスター スパッタリング収量を測定および報告するための方法を指定します。 この方法では、指定された材料の 1 つ以上のテスト サンプルを、既知の厚さ 50 ～ 50 の均一な薄膜として必要とします。 指定された材料とは異なる化学組成を持つ平らな基板上の 1000 ナノメートル ISO 22415 は、指定された材料層が深さ方向に均一な組成を有する試験サンプルに適用されますが、指定された層内の化合物の深さ分布が異なる場合には適用されませんISO 22415 は、材料が不均質である機器に適用されます。

BS ISO 22415:2019 発売履歴

• 2019 BS ISO 22415:2019 表面化学分析 二次イオン質量分析分析 アルゴンクラスタースパッタリングにおける収量の決定方法 有機材料の深さプロファイリング