DIN EN 62047-12:2012-06
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 12 回: MEMS 構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法
- 規格番号
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN EN 62047-12:2012-06
DIN EN 62047-12:2012-06 発売履歴
- 2012 DIN EN 62047-12:2012-06 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 12 回: MEMS 構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法
- 2012 DIN EN 62047-12:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 12: MEMS 構造共振を使用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法 (IEC 62047-12-2011)、ドイツ語版 EN 62047-12-2011
- 0000 DIN IEC 62047-12:2010
